電感耦合等離子體質(zhì)譜儀(ICP-MS)通過(guò)電感耦合等離子體(ICP)將樣品電離，再利用質(zhì)譜(MS)分離并檢測(cè)離子，實(shí)現(xiàn)元素種類與含量的精準(zhǔn)測(cè)定。

　　電感耦合等離子體質(zhì)譜儀的工作流程可拆解為樣品引入→等離子體離子化→離子傳輸→質(zhì)量分析→檢測(cè)計(jì)數(shù)五個(gè)關(guān)鍵步驟，核心是通過(guò) “等離子體產(chǎn)生離子 + 質(zhì)譜篩選檢測(cè)” 實(shí)現(xiàn)元素分析：

　　1.樣品引入：液體樣品(如消解后的水樣、食品浸出液)通過(guò)霧化器轉(zhuǎn)化為氣溶膠，由載氣(通常為氬氣)帶入等離子體炬；固體樣品需先通過(guò)微波消解、酸溶等前處理轉(zhuǎn)化為液體。

　　2.等離子體離子化：樣品氣溶膠進(jìn)入電感耦合等離子體(ICP)——這是一個(gè)由高頻電流激發(fā)氬氣形成的高溫等離子體炬，在此過(guò)程中，樣品分子被徹*解離，元素原子被電離為帶正電的離子。

　　3.離子傳輸：等離子體中的離子通過(guò)采樣錐進(jìn)入真空系統(tǒng)，再經(jīng)截取錐篩選后，由離子透鏡聚焦成離子束，去除中性粒子和光子干擾，然后進(jìn)入質(zhì)量分析器。

　　4.質(zhì)量分析：核心部件為四極桿質(zhì)量分析器，部分機(jī)型采用飛行時(shí)間(TOF)或扇形磁場(chǎng)分析器。四極桿通過(guò)調(diào)節(jié)射頻電壓，僅允許特定質(zhì)荷比的離子通過(guò)，實(shí)現(xiàn)對(duì)不同元素的篩選。

　　5.檢測(cè)計(jì)數(shù)：通過(guò)的離子到達(dá)檢測(cè)器(如電子倍增器)，離子信號(hào)被轉(zhuǎn)化為電信號(hào)，經(jīng)放大和數(shù)據(jù)處理后，以 “計(jì)數(shù)率” 反映離子濃度，最終通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)曲線換算為樣品中元素的實(shí)際含量。